公开/公告号US9064694B2
专利类型
公开/公告日2015-06-23
原文格式PDF
申请/专利号US201313941429
发明设计人 VENKAT PALLEM;ROBERT D CLARK;VINCENT OMARJEE;GLENN KUCHENBEISER;CHRISTIAN DUSSARRAT;STEVEN P CONSIGLIO;
申请日2013-07-12
分类号H01L21/02;H01L21/469;C23C16/00;C23C16/30;C23C16/455;H01L21/28;H01L29/51;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:19:51