首页> 外国专利> Adhesive wafer bonding with sacrificial spacers for controlled thickness variation

Adhesive wafer bonding with sacrificial spacers for controlled thickness variation

机译:具有牺牲性垫片的粘性晶圆键合,可控制厚度变化

摘要

A method and structure for forming an array of micro devices is disclosed. An array of micro devices is formed over an array of stabilization posts included in a stabilization layer. Patterned sacrificial spacers are formed between the stabilization posts and between the micro devices. The patterned sacrificial spacers are disposed upon the patterned sacrificial spacers.
机译:公开了一种用于形成微器件阵列的方法和结构。在稳定层中包括的稳定柱阵列上方形成微器件阵列。在稳定柱之间和微器件之间形成有图案的牺牲间隔物。图案化的牺牲间隔物设置在图案化的牺牲间隔物上。

著录项

  • 公开/公告号US9153548B2

    专利类型

  • 公开/公告日2015-10-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LUXVUE TECHNOLOGY CORPORATION;

    申请/专利号US201314027875

  • 发明设计人 CLAYTON KA TSUN CHAN;ANDREAS BIBL;

    申请日2013-09-16

  • 分类号H01L27/15;H01L23;H01L25/075;H01L33;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 15:18:18

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号