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Method and apparatus for fabricating or altering microstructures using local chemical alterations

机译：使用局部化学变化来制造或改变微结构的方法和设备

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摘要

A method and apparatus for fabricating or altering a microstructure use means for heating to facilitate a local chemical reaction that forms or alters the submicrostructure.

机译：一种用于制造或改变微结构的方法和设备，使用用于加热以促进形成或改变亚微结构的局部化学反应的装置。

著录项

公开/公告号US8999458B2

专利类型
公开/公告日2015-04-07

原文格式PDF
申请/专利权人 SUPRATIK GUHA;HENDRIK F. HAMANN;HERSCHEL M. MARCHMAN;ROBERT J. VON GUTFELD;
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申请/专利号US201213447982
发明设计人 SUPRATIK GUHA;HENDRIK F. HAMANN;ROBERT J. VON GUTFELD;HERSCHEL M. MARCHMAN;
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申请日2012-04-16
分类号C23C8/00;H01L21/768;H01L21/311;H01L21/3213;H01L29/66;H01L29/786;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:17:11

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