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Interlocking type solder connections for alignment and bonding of wafers and/or substrates

机译:互锁式焊料连接,用于晶圆和/或基板的对准和键合

摘要

An apparatus comprising a first substrate and a second substrate. The first substrate has disposed thereon a first feature. The second substrate has disposed thereon a second feature. The first feature is configured to interlock with the second feature such that the first substrate and the second substrate are aligned by the first and the second features within a predefined accuracy.
机译:一种设备,包括第一基板和第二基板。在第一基板上设置有第一特征。第二基板具有设置在其上的第二特征。第一特征配置成与第二特征互锁,使得第一基板和第二基板通过第一和第二特征在预定的精度内对准。

著录项

  • 公开/公告号US8928133B2

    专利类型

  • 公开/公告日2015-01-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 RAJESH BASKARAN;

    申请/专利号US201213465226

  • 发明设计人 RAJESH BASKARAN;

    申请日2012-05-07

  • 分类号H01L29/72;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 15:16:40

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