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METHOD FOR PRODUCING A SELF-SUPPORTING DIAMOND FILM AND SELF-SUPPORTING DIAMOND FILM

机译:自支撑金刚石膜和自支撑金刚石膜的生产方法

摘要

The invention relates to a self-supporting CVD diamond film comprising a plurality of diamond layers (8) lying one over the other, wherein a lower side of each diamond layer (8) is made of diamond having a first average crystal size of 2 to 50 nm, wherein the average crystal size increases within the diamond layer (8) from the lower side to an upper side of the diamond layer (8), and wherein a second average crystal size in the area of the upper side is 50 to 500 nm.
机译:本发明涉及一种自支撑CVD金刚石膜,其包括彼此叠置的多个金刚石层(8),其中每个金刚石层(8)的下侧由第一平均晶体尺寸为2至5μm的金刚石制成。 50nm,其中金刚石层(8)内的平均晶体尺寸从金刚石层(8)的下侧到上侧增大,并且其中上侧区域中的第二平均晶体尺寸为50至500纳米

著录项

  • 公开/公告号EP2403974B1

    专利类型

  • 公开/公告日2015-04-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 DIACCON GMBH;

    申请/专利号EP20100708519

  • 申请日2010-03-05

  • 分类号C30B25/10;C23C16/27;C23C16/01;C30B29/04;C04B35/52;C04B37/00;C04B37/02;B82Y30/00;B82Y40/00;C30B28/14;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 15:07:51

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