疲劳载荷下金刚石自支撑膜的裂纹扩展

摘要

对利用等离子体喷射法制备的金刚石自支撑膜应用激光制备了带缺口的预裂纹试样，并利用柔性约束法在缺口顶端引入尖端预裂纹，应用带扫描电子显微镜的高温电液伺服疲劳试验机进行了疲劳试验，原位观察到了裂纹的稳态扩展，裂纹稳态扩展的力为63 N，失稳扩展的力为67 N。自支撑金刚石膜的柱状晶生长特征和晶界形成的阻力是造成裂纹稳态扩展的主要原因。