公开/公告号WO2015105651A1
专利类型
公开/公告日2015-07-16
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号WO2014US71094
发明设计人 MANNA PRAMIT;MALLICK ABHIJIT BASU;GODET LUDOVIC;CHEN YONGMEI;XUE JUN;SRINIVASAN MUKUND;YIEH ELLIE Y.;NEMANI SRINIVAS D.;
申请日2014-12-18
分类号H01L21/027;H01L21/265;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 15:05:21