公开/公告号KR20150027738A
专利类型
公开/公告日2015-03-12
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号KR20147029224
发明设计人 CHHABRA MAHENDRA;HENDRICKSON SCOTT A.;BALUJA SANJEEV;KIYOHARA TSUTOMU;ROCHA ALVAREZ JUAN CARLOS;DEMOS ALEXANDROS T.;
申请日2013-06-04
分类号H01L21/02;H01L21/3105;H01L21/768;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 15:00:31