公开/公告号DE102013219560A1
专利类型
公开/公告日2015-04-02
原文格式PDF
申请/专利号DE201310219560
发明设计人 JULIA KUMM;HASSAN SAMADI;DIRK REINWAND;WINFRIED WOLKE;PHILIP HARTMANN;ANDREAS WOLF;DANIEL BIRO;
申请日2013-09-27
分类号H01L31/18;H01L31/0224;H01L21/283;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 14:55:28