公开/公告号US2016017495A1
专利类型
公开/公告日2016-01-21
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201514799799
发明设计人 SHAUNAK MUKHERJEE;JIANHUA ZHOU;ABHIJIT BASU MALLICK;MARTIN JAY SEAMONS;KELVIN CHAN;KANG SUB YIM;YIHONG CHEN;
申请日2015-07-15
分类号C23C16/505;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:36:04