公开/公告号US2016056321A1
专利类型
公开/公告日2016-02-25
原文格式PDF
申请/专利号US201514728985
发明设计人 HARRY A. ATWATER;SERGIO PELLEGRINO;SEYED ALI HAJIMIRI;JEFFREY P. BOSCO;DENNIS CALLAHAN;EMILY C. WARMANN;
申请日2015-06-02
分类号H01L31/054;H01L31/0693;B64G1/42;H01L31/0304;H01L31/0224;H02S20/30;H01L31/0687;H01L31/052;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:35:00