公开/公告号US9481601B2
专利类型
公开/公告日2016-11-01
原文格式PDF
申请/专利权人 TORAY INDUSTRIES INC.;
申请/专利号US201314402230
申请日2013-05-15
分类号C03C8/02;C03C8/04;C03C8/24;H01J9/26;C03C8/16;C03C17/04;H01J29/86;H01J11/36;C03C3/066;G03F7/40;H01J17/49;C03C3/093;H01J9/24;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:32:23