公开/公告号US9190515B2
专利类型
公开/公告日2015-11-17
原文格式PDF
申请/专利权人 MATTHIAS BAUER;
申请/专利号US20100705454
发明设计人 MATTHIAS BAUER;
申请日2010-02-12
分类号H01L21/02;H01L29/78;C23C16/04;C23C16/22;C23C16/24;C23C16/32;C23C16/455;C30B25/02;C30B29/06;H01L21/3205;H01L21/3215;H01L29/165;H01L29/66;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:30:20