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High mobility PMOS and NMOS devices having Si—Ge quantum wells

机译:具有Si-Ge量子阱的高迁移率PMOS和NMOS器件

摘要

At least one method, apparatus and system disclosed involves semiconductor base structure adapted for accepting at least one of a NMOS device and a PMOS device. A substrate is formed. A strained relaxed layer is formed on the substrate. A first tensile strained layer is formed on the strained relaxed layer. A first compressive strain layer is formed on the first tensile strained layer.
机译:公开的至少一种方法,装置和系统涉及适于接受NMOS器件和PMOS器件中的至少一个的半导体基础结构。形成基板。在基板上形成应变松弛层。在拉伸松弛层上形成第一拉伸拉伸层。在第一拉伸应变层上形成第一压缩应变层。

著录项

  • 公开/公告号US9406799B2

    专利类型

  • 公开/公告日2016-08-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;

    申请/专利号US201414519709

  • 发明设计人 DEEPAK KUMAR NAYAK;

    申请日2014-10-21

  • 分类号H01L29/78;H01L29/66;H01L29/12;H01L27/092;H01L29/165;H01L21/8238;H01L21/02;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 14:29:36

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