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Methods of forming group III-V semiconductor materials on group IV substrates and the resulting substrate structures

机译:在第IV族衬底上形成III-V族半导体材料的方法以及所得的衬底结构

摘要

One method disclosed herein includes forming a patterned mask layer above a surface of a semiconductor substrate, performing at least one etching process through the patterned mask layer to define a plurality of intersecting ridges that define a ridged surface in the substrate, and forming a Group III-V material on the ridged surface of the substrate. An illustrative device disclosed herein includes a Group IV substrate having a ridged surface comprised of a plurality of intersecting ridges and a Group III-V material layer positioned on the ridged surface of the Group IV substrate.
机译:本文公开的一种方法包括:在半导体衬底的表面上方形成图案化的掩模层;通过图案化的掩模层执行至少一个蚀刻工艺,以限定出在衬底中限定出脊形表面的多个相交的脊;以及形成III族。 -V材料位于基板的脊形表面上。本文公开的说明性装置包括IV族衬底,该IV族衬底具有由多个相交的脊组成的脊表面,以及位于IV族衬底的脊表面上的III-V族材料层。

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