机译:用于处理设备的处理设备,尤其是其中包括有机材料的设备,以及用于将蒸发源从处理真空腔转移到维护真空腔或将维护真空腔转移到过程的方法
公开/公告号WO2015086168A8
专利类型
公开/公告日2016-06-09
原文格式PDF
申请/专利号WO2014EP67673
申请日2014-08-19
分类号C23C14/04;C23C14/12;C23C14/56;C23C14/24;B05D3/04;B05D1/02;B05D1;H01L51;H01L51/56;C23C16/44;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 14:20:55