公开/公告号WO2016121221A1
专利类型
公开/公告日2016-08-04
原文格式PDF
申请/专利权人 SONY CORPORATION;
申请/专利号WO2015JP83936
发明设计人 ENOKI OSAMU;
申请日2015-12-02
分类号C23C14/12;C23C14/24;C23C14/58;H01L21/363;H01L27/146;H01L51/30;H01L51/42;H01L51/50;H05B33/10;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 14:17:04