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OPTICAL SYSTEM COMPRISING IR LIGHT AND APPARATUS FOR BONDING DIE USING THE SAME

机译:包含红外光的光学系统和使用该光学系统进行粘接的装置

摘要

The present invention relates to an apparatus for manufacturing a semiconductor chip package, and more specifically, to an optical system including an infrared light capable of detecting a crack generated on a die, and a die bonding apparatus including the same. The optical system including an infrared light comprises a first lighting part, a second lighting part and an image sensor. The first lighting part emits a light in a visible light zone from a lower part of a die, which is supported by a pick-up member, to a surface of the die. The second light part emits a light in an infrared light zone from the lower part of the die to the surface of the die. The image sensor part obtains a first image reflected by the light emitted from the first lighting part, and a second image reflected by the light emitted from the second lighting part.
机译:技术领域本发明涉及一种用于制造半导体芯片封装的设备,更具体地,涉及一种包括能够检测在管芯上产生的裂纹的红外光的光学系统,以及包括该光学系统的管芯接合设备。包括红外光的光学系统包括第一照明部分,第二照明部分和图像传感器。第一照明部件在可见光区域中从由拾取构件支撑的裸片的下部向裸片的表面发射光。第二光部分在从裸片的下部到裸片的表面的红外光区域中发射光。图像传感器部分获得由从第一照明部分发射的光反射的第一图像和由从第二照明部分发射的光反射的第二图像。

著录项

  • 公开/公告号KR20160042606A

    专利类型

  • 公开/公告日2016-04-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 STS SEMICONDUCTOR & TELECOMMUNICATIONS CO. LTD.;

    申请/专利号KR20140136742

  • 发明设计人 KIM YOUNG SANG;

    申请日2014-10-10

  • 分类号H01L27/146;H01L21/58;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 14:14:39

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