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WAFER-LEVEL CHIP-SIZE PACKAGE WITH REDISTRIBUTION LAYER

机译:晶圆级芯片大小的包装,带再分配层

摘要

A wafer-level chip-size package includes a semiconductor structure. A bonding pad is formed over the semiconductor structure, including a plurality of conductive segments. A conductive component is formed over the semiconductor structure, being adjacent to the bonding pad. A passivation layer is formed, exposing a portions of the conductive segments of the first bonding pad. A conductive redistribution layer is formed over the portions of the conductive segments of the first bonding pad exposed by the passivation layer. A planarization layer is formed over the passivation layer and the conductive redistribution layer, exposing a portion of the conductive redistribution layer. A UBM layer is formed over the planarization layer and the portion of the conductive redistribution layer exposed by the planarization layer. A conductive bump is formed over the UBM layer.
机译:晶片级芯片尺寸封装包括半导体结构。在包括多个导电段的半导体结构上方形成焊盘。导电部件形成在半导体结构上方,与键合焊盘相邻。形成钝化层,暴露出第一键合焊盘的一部分导电段。在第一键合焊盘的被钝化层暴露的部分导电段上形成导电再分布层。在钝化层和导电再分布层上方形成平坦化层,从而暴露出一部分导电再分布层。在平坦化层和由平坦化层暴露的导电再分布层的一部分上形成UBM层。在UBM层上方形成导电凸块。

著录项

  • 公开/公告号EP3217427A1

    专利类型

  • 公开/公告日2017-09-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MEDIATEK INC.;

    申请/专利号EP20160199543

  • 发明设计人 JI YAN-LIANG;HSIUNG MING-JEN;

    申请日2016-11-18

  • 分类号H01L23/485;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 14:04:51

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