首页> 外国专利> WAFER-LEVEL CHIP-SIZE PACKAGE WITH REDISTRIBUTION LAYER

WAFER-LEVEL CHIP-SIZE PACKAGE WITH REDISTRIBUTION LAYER

机译:具有再分配层的晶圆级芯片尺寸封装

摘要

A wafer-level chip-size package includes a semiconductor structure. A bonding pad is formed over the semiconductor structure, including a plurality of conductive segments. A conductive component is formed over the semiconductor structure, being adjacent to the bonding pad. A passivation layer is formed, exposing a portions of the conductive segments of the first bonding pad. A conductive redistribution layer is formed over the portions of the conductive segments of the first bonding pad exposed by the passivation layer. A planarization layer is formed over the passivation layer and the conductive redistribution layer, exposing a portion of the conductive redistribution layer. A UBM layer is formed over the planarization layer and the portion of the conductive redistribution layer exposed by the planarization layer. A conductive bump is formed over the UBM layer.
机译:晶片级芯片尺寸封装包括半导体结构。 在半导体结构上形成粘合垫,包括多个导电段。 在半导体结构上形成导电部件,与键合焊盘相邻。 形成钝化层,暴露第一键合垫的导电段的一部分。 在由钝化层暴露的第一键合焊盘的导电段的部分上形成导电再分配层。 在钝化层和导电再分布层上形成平坦化层,暴露导电再分布层的一部分。 在平坦化层上形成UBM层,并且由平坦化层暴露的导电再分布层的部分。 在UBM层上形成导电凸块。

著录项

  • 公开/公告号EP3217427B1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-11-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号EP20160199543

  • 发明设计人 JI YAN-LIANG;HSIUNG MING-JEN;

    申请日2016-11-18

  • 分类号H01L23/48;H01L23/485;H01L23/482;H01L23/31;H01L23;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-24 22:10:36

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号