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VERTICAL GAP ACTUATOR FOR ULTRASONIC TRANSDUCERS AND FABRICATION OF THE SAME

机译：超声波传感器的垂直间隙致动器及其制造

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摘要

The invention is related to the capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT) actuated electrostatically.
机译：本发明涉及静电致动的电容微机械超声换能器（CMUT）。

著录项

  • 公开/公告号EP3221064A1

    专利类型

  • 公开/公告日2017-09-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 OZYEGIN UNIVERSITESI;

    申请/专利号EP20150784792

  • 发明设计人 YARALIOGLU GOKSEN GOKSENIN;

    申请日2015-09-09

  • 分类号B06B1/02;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 14:04:05

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