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Film-forming mask and film-forming mask manufacturing method

机译:成膜掩模和成膜掩模的制造方法

摘要

A deposition mask is provided. The deposition mask including: a resin film 1 in which penetrating opening patterns 4 are formed and a frame-shaped metal thin film 5 having an opening is provided on one face 1a of the film 1; a metal mask 2 provided at a position corresponding to the opening of the metal thin film 5 on one face 1a side of the film 1, the metal mask 2 being separated from and independent of the film 1, the metal mask 2 being provided with through holes 6; and a metal frame 3 positioned on one face 1a side of the film 1, the metal frame 3 supporting the film 1 and the metal mask 2 by spot-welding a portion of the metal thin film 5 and an edge region of the metal mask 2 to one end face 3a.
机译:提供了沉积掩模。蒸镀掩模包括:在膜1的一个面1a上设有形成有贯通的开口图案4的树脂膜1和具有开口的框状的金属薄膜5。金属掩模2,其设置在与金属薄膜5在膜1的一个面1a侧上的开口相对应的位置处,金属掩模2与膜1分离并且独立于膜1,金属掩模2设置有通孔。孔6;金属框架3,其位于膜1的一个面1a侧上,金属框架3通过点焊金属薄膜5的一部分和金属掩模2的边缘区域来支撑膜1和金属掩模2。到一个端面3a。

著录项

  • 公开/公告号JP6078818B2

    专利类型

  • 公开/公告日2017-02-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社ブイ・テクノロジー;

    申请/专利号JP2013138814

  • 发明设计人 水村 通伸;

    申请日2013-07-02

  • 分类号C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 13:58:22

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