公开/公告号JP6208109B2
专利类型
公开/公告日2017-10-04
原文格式PDF
申请/专利权人 インテグリス・インコーポレーテッド;
申请/专利号JP20140220215
发明设计人 バイル;オレグ;カイム;ロバート;オランダー;ダブリュー.;カール;ビショップ;スティーブン;イー.;サージ;スティーブン;フェン;リン;タン;イン;スウィーニー;ジョセフ;ディー.;イェデーブ;シャラド;エヌ.;エルドリッジ;デイビッド;
申请日2014-10-29
分类号H01J27/02;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 13:55:12