公开/公告号US2017308071A1
专利类型
公开/公告日2017-10-26
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201615134234
发明设计人 MARK ROBERT DENOME;VIJAYAKUMAR VENUGOPAL;ASHISH KUMAR;VIJAI THANGAMANY;SOMIL KAPADIA;CHING-HONG HSIEH;
申请日2016-04-20
分类号G05B19/418;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:51:22