公开/公告号WO2017184400A1
专利类型
公开/公告日2017-10-26
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号WO2017US27155
发明设计人 DENOME MARK ROBERT;VENUGOPAL VIJAYAKUMAR;KUMAR ASHISH;THANGAMANY VIJAI;KAPADIA SOMIL;HSIEH CHING-HONG;
申请日2017-04-12
分类号G05B19/418;H01L21/02;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 13:29:11