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MEMS Microphone, Apparatus comprising a MEMS Microphone and Method for Fabricating a MEMS Microphone

机译：MEMS麦克风，包括MEMS麦克风的装置和制造MEMS麦克风的方法

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A MEMS microphone and a method for manufacturing a MEMS microphone are disclosed. Embodiments of the invention provide a MEMS microphone including a MEMS microphone structure having at least one counter electrode structure and a diaphragm structure deflectable with respect to the counter electrode structure and a thermocouple arranged at the MEMS microphone structure.

机译：公开了一种MEMS麦克风和用于制造MEMS麦克风的方法。本发明的实施例提供了一种MEMS麦克风，其包括具有至少一个对电极结构和相对于对电极结构可偏转的隔膜结构的MEMS麦克风结构，以及布置在MEMS麦克风结构上的热电偶。

著录项

公开/公告号US2017238107A1

专利类型
公开/公告日2017-08-17

原文格式PDF
申请/专利权人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;
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申请/专利号US201615044663
发明设计人 ALFONS DEHE;ARNAUD WALTHER;
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申请日2016-02-16
分类号H04R29/00;G01K7/02;H04R3/00;H04R19/04;B81C1/00;H04R19/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:51:20

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