公开/公告号US2017047446A1
专利类型
公开/公告日2017-02-16
原文格式PDF
申请/专利权人 ASM IP HOLDING B.V.;
申请/专利号US201514827177
发明设计人 JOE MARGETIS;JOHN TOLLE;
申请日2015-08-14
分类号H01L29/78;C23C16/455;H01L29/167;H01L29/08;H01L21/02;H01L29/161;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:50:59