公开/公告号US2017016115A1
专利类型
公开/公告日2017-01-19
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201514805852
发明设计人 SAANGRUT SANGPLUNG;CHLOE BALDASSERONI;RAMESH CHANDRASEKHARAN;SHANKAR SWAMINATHAN;FRANK PASQUALE;JENNIFER OLOUGHLIN;ADRIEN LAVOIE;
申请日2015-07-22
分类号C23C16/455;C23C16/52;H01J37/32;C23C16/50;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:49:20