公开/公告号US10323323B2
专利类型
公开/公告日2019-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201715453263
发明设计人 RAMESH CHANDRASEKHARAN;JENNIFER OLOUGHLIN;SAANGRUT SANGPLUNG;SHANKAR SWAMINATHAN;FRANK PASQUALE;CHLOE BALDASSERONI;ADRIEN LAVOIE;
申请日2017-03-08
分类号C23C16/52;C23C16/455;H01J37/32;C23C16/44;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:16:30