公开/公告号US9758365B2
专利类型
公开/公告日2017-09-12
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201514821997
申请日2015-08-10
分类号H01L29/84;B81B3/00;H01L21/84;H01L27/12;H03H3/02;H03H9/10;H03H9/17;H01L41/113;H03H1/00;H03H9/24;H03H9/15;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:48:59