公开/公告号US2017321348A1
专利类型
公开/公告日2017-11-09
原文格式PDF
申请/专利权人 OSAKA UNIVERSITY;ITOCHU PLASTICS INC.;NATIONAL UNIVERSITY CORP TOKYO UNIVERSITY OF AGRICULTURE AND TECHNOLOGY;
申请/专利号US201515523163
申请日2015-10-28
分类号C30B29/40;H01L21/02;C30B9/02;C30B25/02;H01L29/20;H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:48:55