公开/公告号US2017227474A1
专利类型
公开/公告日2017-08-10
原文格式PDF
申请/专利权人 NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD.;
申请/专利号US201515502329
发明设计人 GILAD BARAK;ODED COHEN;
申请日2015-08-06
分类号G01N21/956;G01R31/309;H01L23/544;G01B11/14;H01L21/66;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:48:19