公开/公告号US2017194430A1
专利类型
公开/公告日2017-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201615395928
发明设计人 BINGXI SUN WOOD;MICHAEL G. WARD;SHIYU SUN;MICHAEL CHUDZIK;NAM SUNG KIM;HUA CHUNG;YI-CHIAU HUANG;CHENTSAU YING;YING ZHANG;CHI-NUNG NI;LIN DONG;DONGQING YANG;
申请日2016-12-30
分类号H01L29/06;H01L21/02;H01L29/66;H01L21/311;H01L21/764;H01L21/306;H01L29/423;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:46:58