公开/公告号US9768028B1
专利类型
公开/公告日2017-09-19
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201615232873
申请日2016-08-10
分类号H01L21/76;H01L21/311;H01L21/302;H01L21/266;H01L29/78;H01L29/10;H01L29/08;H01L27/092;H01L21/8238;H01L21/225;H01L29/66;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:47:00