公开/公告号US9799652B1
专利类型
公开/公告日2017-10-24
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201715635288
申请日2017-06-28
分类号H01L29/51;H01L29/70;H01L21/8222;H01L21/331;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/40;H01L29/66;H01L21/265;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:45:54