公开/公告号US9772447B2
专利类型
公开/公告日2017-09-26
原文格式PDF
申请/专利权人 IMEC VZW;UNIVERSITEIT GENT;
申请/专利号US201615147988
申请日2016-05-06
分类号G02B6/12;H01L23/52;H01L29/40;H01L21;H01L21/30;H01L21/46;H01S5/02;G02B6/122;H01L31/103;G02B6/14;G02B6/34;G02F1/017;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:46:01