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Non-linear optical ellipsometry for surface monitoring and characterization

机译：用于表面监测和表征的非线性光学椭圆仪

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摘要

The present disclosure relates to monitoring, evaluating and interrogating material surfaces using second-order nonlinear optical ellipsometry for surface monitoring and characterization.

机译：本公开涉及使用用于表面监测和表征的二阶非线性光学椭圆仪监测，评估和询问材料表面。

著录项

公开/公告号US9632020B2

专利类型
公开/公告日2017-04-25

原文格式PDF
申请/专利权人 THE BOEING COMPANY;
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申请/专利号US201414520940
发明设计人 JOHN H. BELK;JEFFREY H. HUNT;
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申请日2014-10-22
分类号G01N21/21;G01N21/84;G01N21/94;G01N21/88;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:44:23

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