公开/公告号US9608399B2
专利类型
公开/公告日2017-03-28
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201414210355
申请日2014-03-13
分类号H01S3/23;G01N21/47;G01N21/95;H01S3/30;G02F1/35;G01N21/88;H01S3/06;H01S3/067;H01S3/0941;H01S3/16;H01S3;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:42:18