公开/公告号WO2016186913A1
专利类型
公开/公告日2016-11-24
原文格式PDF
申请/专利号WO2016US31752
发明设计人 CHANG SHENGWU;BURGESS JEFF;LEAVITT WILLIAM;ST PETER MICHAEL;MOSHER MATTHEW;OLSON JOSEPH C.;SINCLAIR FRANK;
申请日2016-05-11
分类号H01L21/265;H01J37/317;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 13:33:50