机译:包含特定成分的CMP(化学机械抛光)成分的化学锗元素制造工艺,该工艺包括元素锗和/或Si 1-x sub> Ge x sub>材料的化学机械抛光有机化合物
公开/公告号RU2605941C2
专利类型
公开/公告日2016-12-27
原文格式PDF
申请/专利权人 BASF SE;
申请/专利号RU20140107763
申请日2012-07-30
分类号C09G1/02;C09G1/04;C09K3/14;H01L21/304;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 13:23:48