公开/公告号US10007183B2
专利类型
公开/公告日2018-06-26
原文格式PDF
申请/专利权人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;
申请/专利号US201514856014
申请日2015-09-16
分类号G03F7/11;G03F7/40;G03F7/09;H01L21/308;C07C43/23;G03F7/075;C08F216/10;C08G61/12;C09D129/02;C09D165;G03F7/20;G03F7/32;C07C39/17;C08K5/13;H01L21/02;H01L27/12;H01L21/311;H01L21/027;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:05:34