公开/公告号US2018136560A1
专利类型
公开/公告日2018-05-17
原文格式PDF
申请/专利权人 MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION;
申请/专利号US201515571904
发明设计人 NAOYUKI TAKEDA;
申请日2015-07-08
分类号G03F7/30;B24B7/22;B24B9/06;H01L29/32;H01L21/02;G03F7/16;G03F7/039;G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:05:10