公开/公告号US9978649B2
专利类型
公开/公告日2018-05-22
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LIMITED;
申请/专利号US201715465311
申请日2017-03-21
分类号H01L21/8238;H01L29/78;H01L29/66;H01L21/225;H01L21/324;H01L21/033;H01L27/092;H01L29/161;H01L29/167;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:58:03