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UTBB FDSOI split gate devices

机译:UTBB FDSOI分闸设备

摘要

An Ultra Thin Body and Box (UTBB) fully depleted silicon on insulator (FDSOI) field effect transistor (FET) employing a split gate topology is provided. A gate dielectric layer is disposed beneath a gate structure and in contact with a channel layer of the device. The gate dielectric layer contains two portions, a thin portion and a thick portion. The thin portion is arranged and configured to reduce a trans-conductance of the device, while a thick portion is arranged and configured to increase the break down voltage of the device. The device further contains a bulk region that can be electrically connected to voltage source to provide control over the threshold voltage of the device.
机译:提供了采用分裂栅拓扑结构的超薄体箱(UTBB)完全耗尽绝缘体上硅(FDSOI)场效应晶体管(FET)。栅极介电层设置在栅极结构下方并与器件的沟道层接触。栅极介电层包含两部分,薄部分和厚部分。薄部分被布置和构造成减小器件的跨导,而厚部分被布置和构造成增大器件的击穿电压。该器件还包含一个可以电连接到电压源的块状区域,以提供对该器件阈值电压的控制。

著录项

  • 公开/公告号US9978848B2

    专利类型

  • 公开/公告日2018-05-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利号US201514928603

  • 发明设计人 AKIRA ITO;

    申请日2015-10-30

  • 分类号H01L29/06;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/423;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 12:57:58

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