公开/公告号US9899205B2
专利类型
公开/公告日2018-02-20
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201615223335
发明设计人 ILYA BEZEL;KENNETH P. GROSS;LAUREN WILSON;RAHUL YADAV;JOSHUA WITTENBERG;AIZAZ BHUIYAN;ANATOLY SHCHEMELININ;ANANT CHIMMALGI;RICHARD SOLARZ;
申请日2016-07-29
分类号H01J61/12;H01J61/02;H01J61/36;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:56:24