公开/公告号EP3466220A1
专利类型
公开/公告日2019-04-10
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号EP20170803325
发明设计人 BEZEL ILYA;GROSS KENNETH P.;WILSON LAUREN;YADAV RAHUL;WITTENBERG JOSHUA;BHUIYAN AIZAZ;SHCHEMELININ ANATOLY;CHIMMALGI ANANT;SOLARZ RICHARD;
申请日2017-05-19
分类号H05G2;H01J65/04;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 12:26:07