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MICRO-MACHINED THIN FILM LITHIUM NIOBATE ELECTRO-OPTIC DEVICES

机译:微加工薄膜铌酸锂电光器件

摘要

Optical devices and their fabrication from thin film lithium niobate are provided. In some embodiments, an optical device includes a substrate and an optical waveguide disposed on the substrate. The optical waveguide comprises lithium niobate. The optical waveguide has a central ridge extending laterally along the substrate. A pair of electrodes is disposed on opposite sides of the central ridge of the optical waveguide.
机译:提供了光学器件及其由薄膜铌酸锂的制造。在一些实施例中,光学器件包括基板和设置在基板上的光波导。光波导包括铌酸锂。光波导具有沿着基板横向延伸的中央脊。一对电极设置在光波导的中央脊的相对侧。

著录项

  • 公开/公告号WO2018031916A1

    专利类型

  • 公开/公告日2018-02-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE;

    申请/专利号WO2017US46560

  • 发明设计人 WANG CHENG;ZHANG MIAN;LONCAR MARKO;

    申请日2017-08-11

  • 分类号G02F1/035;B05D5/06;G02B6/10;G02F1/03;G02F1/225;H01L21/02;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-21 12:45:42

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