公开/公告号WO2018061525A1
专利类型
公开/公告日2018-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 TORAY INDUSTRIES INC.;
申请/专利号WO2017JP29877
申请日2017-08-22
分类号G03F7/037;C08F20/28;G02F1/1335;G02F1/1339;G03F7/004;G03F7/033;G03F7/038;G03F7/075;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/22;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 12:44:41