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PVD PVD Method and app1r1tus for PVD coating

机译:PVD PVD涂层的PVD方法及装置

摘要

According to an embodiment, the present invention provides a PVD coating method and a coating apparatus and, more specifically, provides a PVD coating method and a coating apparatus, which can uniformly perform coating even though a size of a coating machine is large, and can continuously metallize a coating layer of different materials.
机译:根据一个实施方式,本发明提供了PVD涂布方法和涂布设备,更具体地,提供了即使涂布机的尺寸较大也可以均匀地进行涂布的PVD涂布方法和涂布设备,并且可以连续金属化不同材料的涂层。

著录项

  • 公开/公告号KR101891107B1

    专利类型

  • 公开/公告日2018-09-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SIM SEONG YUN;

    申请/专利号KR20170159143

  • 发明设计人 SIM SEONG YUN;

    申请日2017-11-27

  • 分类号C23C14/24;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/58;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 12:37:17

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