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ETCHANT ADDITIVES AND ETCHANT USING THE SAME

机译:附魔添加剂和使用相同的附魔

摘要

The present invention relates to an etching additive for controlling the etching rate for controlling the etching direction, an etching solution containing the etching additive, and a method of manufacturing a wiring using the etching additive. In the case of using the etching additive of the present invention, the etching rate and direction in the vertical and horizontal directions can be controlled in the etching process for forming a circuit, so that the top portion from the bottom portion of the circuit has a 1: 1 ratio It is possible to secure a linearity close to that of the circuit and to achieve a high etch factor close to the infinite etch factor of the circuit.
机译:本发明涉及一种用于控制蚀刻速率以控制蚀刻方向的蚀刻添加剂,包含该蚀刻添加剂的蚀刻溶液以及使用该蚀刻添加剂制造配线的方法。在使用本发明的蚀刻添加剂的情况下,可以在用于形成电路的蚀刻过程中控制垂直方向和水平方向上的蚀刻速率和方向,使得从电路底部到顶部的顶部具有1:1的比例可以确保接近电路的线性,并获得接近于电路的无限蚀刻因子的高蚀刻因子。

著录项

  • 公开/公告号KR101916157B1

    专利类型

  • 公开/公告日2018-11-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 켄스코 주식회사;

    申请/专利号KR20170046824

  • 发明设计人 이동규;김도형;

    申请日2017-04-11

  • 分类号C23F1/18;C23F1/02;C23F1/34;H05K3/06;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 12:36:47

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